TEC EUROLAB
Osservazioni al microscopio elettronico a scansione sem
MICROANALISI EDS
Scopo
La microanalisi mediante sonda EDS permette analisi qualitative puntuali di componenti di ridottissime dimensioni (inclusioni) e l’analisi di rivestimenti.
Descrizione
L’analisi chimica (microanalisi) nel microscopio elettronico (SEM) a scansione viene realizzata misurando l’energia e la distribuzione delle intensità dei raggi X generati dal fascio elettronico sul campione utilizzando un rivelatore a dispersione di energia EDS ( spettrometria per dispersione di energia). L’analisi che viene prodotta può essere sia dell’area che in quel momento viene ingrandita, oppure, fermando la scansione del fascio elettronico, di un punto di interesse sulla superficie del campione (microanalisi). Dato che la porzione di spazio eccitata dal fascio elettronico, che produce lo spettro X, è un intorno del punto di pochi micron, il SEM+EDS è un potente mezzo di indagine su solidi chimicamente disomogenei a scala microscopica.
A cosa serve
L’individuazione degli elementi costituenti inclusioni permette di individuarne la tipologia e l’origine. Permette di valutare la tipologia di rivestimento di un componente.
Su cosa si fa/campionamento
L’analisi viene effettuata su un campioni solidi anche sotto forma di trucioli. Campioni di grandi dimensioni devono essere sezionati per poter essere inseriti nella camera del microscopio a scansione.